Delta系列 光学薄膜厚仪
产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用领域
技术参数
型号 | Delta-VIS | Delta-DUV | Delta-NIR |
波长范围 | 380-1050nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范围 | 50nm-40um | 1nm-30um | 10um-3mm |
准确度1 | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90° | 90° | 90° |
样品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在线 | 是 | 是 | 是 |
扫描选择 | XY可选 | XY可选 | XY可选 |
注:1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。
2. 可选微光斑附件。