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F60 系列

美国Filmetrics 生产环境的自动测绘 F60 系列

品牌名称：

产品型号：F60-t/F60-t-UV/F60-t-NIR/F60-t-EXR/F60-t-UVX/F60-t-XT/F60-t-s980/F60-t-s1310/F60-t-s1550

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生产环境的自动测绘
Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。
不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 .
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F60 系列 生产环境的自动测绘 

生产环境的自动测绘

Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。

不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 

包含的内容：

集成平台/光谱仪/光源装置（不含平台）

4", 6" and 200mm 参考晶圆

TS-SiO2-4-7200 厚度标准

真空泵

备用灯

型号参数

型号

厚度范围*

波长范围

F60-t

20nm-70µm

380-1050nm

F60-t-UV

5nm-40µm

190-1100nm

F60-t-NIR

100nm-250µm

950-1700nm

F60-t-EXR

20nm-250µm

380-1700nm

F60-t-UVX

5nm-250µm

190-1700nm

F60-t-XT

0.2µm-450µm

1440-1690nm

F60-t-s980

4µm-1mm

960-1000nm

F60-t-s1310

7µm-2mm

1280-1340nm

F60-t-s1550

10µm-3mm

1520-1580nm

*取决于薄膜种类 

F60 系列-1.png


常见的选购配件：

F60 系列-2.png

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