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UV 400/UVR 400
UV 400/UVR 400
UV 400/UVR 400
UV 400/UVR 400

美国Advanced Energy 数字高温计 UV 400/UVR 400

品牌名称：美国AE

产品型号：UV 400/UVR 400

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产品规格
产品介绍
UV 400 和 UVR 400 系统专为基于 GaN 的 MOCVD 外延工艺而设计，可直接测量晶圆表面温度，与传统的基座/口袋温度测量相比有显着改进，从而提高了产量。UVR 400 更进一步，在 635 nm 处集成了一个额外的反射仪，以 0.5 kHz 的测量速度运行，便于测量沉积厚度。这些系统重新定义了 LED 生产过程的标准，结果显示了过程温度与最终产品波长之间的可靠相关性。
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英文产品资料-美国Advanced Energy UV 400/UVR 400 数字高温计
8页
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产品详情

UV 400/UVR 400 数字高温计

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UV 400 和 UVR 400 系统专为基于 GaN 的 MOCVD 外延工艺而设计，可直接测量晶圆表面温度，与传统的基座/口袋温度测量相比有显着改进，从而提高了产量。UVR 400 更进一步，在 635 nm 处集成了一个额外的反射仪，以 0.5 kHz 的测量速度运行，便于测量沉积厚度。这些系统重新定义了 LED 生产过程的标准，结果显示了过程温度与最终产品波长之间的可靠相关性。

产品特点

  • 具有 PL 波长相关性的可靠晶圆温度

  • 设备可承受氮气和真空 （< 10 mbar）

  • 在温度范围内可调子范围

  • 使用真正的光计数仪器将测量中的噪声降至最低

  • 使用 PhotriX 和同心光导管选项实现反应器温度控制的完整解决方案

  • 通过精确的真实晶圆温度测量提高产量

  • 使用紫外波长仪器直接在氮化镓层上测量温度

  • 通过 PL 波长相关性获得可靠的晶圆温度

  • 使用快速脉冲光源捕获实时反射率测量

  • 防止近红外发射率补偿高温计中常见的残余温度振荡

  • 防止由于延迟采样而导致的数据偏斜（不打开和关闭快门）


UV 400/UVR 400 技术参数

型号UV 400/UVR 400

工作温度范围 (°C):

650   to 1300 °C

光谱范围（微米）:

0.383   to 0.410

测量不确定性（°C）:

From   3 °C

光学器件（毫米）:

Fixed   optics

视场角（最小光斑尺寸）（毫米）:

Min   8:1 (9.8)

校准/瞄准:

None

接口/输出（毫安）:

0/4   to 20 mA

曝光时间 t90（毫秒）:

8   ms

环境温度（°C）:

10   to 38

分辨率（°C）:

0.1

保护等级:

IP   40 IEC 60529

发射率:

0.100   to 1.000 in 0.1% steps

重量（千克）:

2.5

住房:

Black   anodized aluminum

透射率:

0.100   to 1.000 in 0.1% steps

连接:

M12   (8-pin) plug connector, M12 (4-pin) plug connector

业务职位:

Any

CE   标签:

According   to EU directives about electromagnetical immunity

脏窗警告:

0   to 60+V14:V16

耗电量（瓦）:

5

隔离:

Power   supply, analog output, and digital interface are electrically isolated from   each other

波长重复性（pm）:

0.1%   oR + 0.1 °C


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