DN 16 CF-R 全金属气体配量阀,手动操作
适用于超高真空应用
最小无用容积
工作温度高达 300 °C
用于质谱仪应用
DN 16 CF-R 进气口
技术参数
型号 | DN 16 CF-R |
分子流下的电导值 | 0.05 l/s |
外壳 | 不锈钢 |
工作压力 | 1 · 10-10 hPa 至 1500 hPa(绝对值) | 7.5 · 10-11 Torr | 1 · 10-10 mbar |
最大可控气体流量 | 5 · 102 hPa·l/s |
最高压力 | 10000 hPa | 7,500 Torr | 10,000 mbar |
类型 | 气体控制阀 |
连接法兰(出) | DN 16 CF-R |
驱动 | 手动 |
压力最小值 | 1 · 10-11 hPa | 7.5 · 10-12 Torr | 1 · 10-11 mbar |
密封性 | 1 · 10-11 Pa m³/s | 7.5 · 10-11 Torr l/s | 1 · 10-10 mbar l/s |
最大入口压力 | 1 · 10-10 hPa – 1 MP | 7.5 · 10-11 – 0.75 Torr | 1 · 10-10 – 1 mbar |
最小可控气体流量 | 1 · 10-10 hPa·l/s |
烘烤温度最大值 | ≤ 300 °C | ≤ 572 °F | ≤ 573.15 K |
连接法兰 | DN 16 CF-R |
重量 | 0.94 kg | 2.07 lb |