ASM 390 探测器 通用电压,可配置的 I/O 接口板,出口 DN 25 ISO-KF
具有高前级泵能力(35 m3/h)的干式清洁泵
测试时间短:在小型和大型样品上均具有出色的性能
紧凑设计且极易操控
大型彩色触摸屏,无需任何工具即可完全旋转和拆卸
用于存放附件的集成工具箱
完全可配置的 I/O 接口(37 针 D-Sub),可通过 PC/PLC 进行控制
可连接的 DN 25 排气管,用于连接到通用的 Fab 排气管
技术参数
型号 | ASM 390 |
50/60 Hz 时的前级泵抽气速率 | 35 m³/h | 20.6 cfm | 583.33 l/min |
主电源频率兼容性 | 50 Hz 60 Hz |
功耗 | 800 W |
启动时间 (20°C) | 2 min |
工作温度 | 10 – 35 °C | 50 – 95 °F | 283.15 – 308.15 K |
排气管路的连接 | DN 25 ISO-KF |
最大耗电量 | 1600 W |
氦气的最小可检测泄漏率(嗅探泄漏检测) | 1 · 10-9 Pa m³/s | 7.5 · 10-9 Torr l/s | 1 · 10-8 mbar l/s |
测试方法 | 真空泄漏检测 嗅探式泄漏探测 |
类型 | 高性能 - 机动灵活 |
连接法兰(出) | DN 25 ISO-KF |
重量 | 125 kg | 275.58 lb |
I/O 接口 | RS232, USB |
前级泵 | 带无油前级泵 |
可检测气体 | 4氦 3氦 氢气 |
尺寸(长 x 宽 x 高) | 1072 x 455 x 1025 mm | 42.2 x 17.91 x 40.35 inch |
排放声压级 (EN ISO 2151) | 55 dB(A) |
接口:连接,设备侧 | 可配置 37 针 I/O |
氦气的抽气速率 | 10 l/s |
氦气的最小可检测泄漏率(真空泄漏检测) | 1E-13 Pa m³/s | 7.5 · 10-13 Torr l/s | 1 · 10-12 mbar l/s |
用户界面 | 图形化彩色触摸屏(可取下) |
输入电压 | 100 – 240 V AC, 50/60 Hz |
连接法兰(进口) | DN 40 ISO-KF |
产品尺寸