国仪量子聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500-宜器服务网

产品详情

DB500 聚焦离子束电子束双束显微镜

DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强，为您打造全能纳米分析和加工中心。

产品特点

产品优势

高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务，提供免费的三年质保无忧服务

技术介绍

	离子镜筒"承影" 技术特点分辨率：3 nm@30 kV 探针电流：1 pA~50 nA 加速电压范围：500 V~30 kV 使用寿命：≥1000小时长时间稳定性：72小时不间断工作

	纳米机械手技术特点仓内安装方式三轴全压电驱动步进精度≤10nm 最大移动速度2mm/s 集成式控制方式

	离子束-电子束协同

	气体注入器单气体注入多种气源可选伸缩距离≥35 mm 重复定位精度≤10 um 加热温度控制精度≤0.1℃ 加热温度范围：室温~90℃ 集成式控制方式

应用案例

技术参数

型号	DB500
电子束系统	电子枪类型	高亮度肖特基场发射电子枪
	分辨率	1.2 nm@15 kV
	加速电压	20 V ~ 30 kV
离子束系统	离子源类型	液态镓离子源
	分辨率	3 nm@30 kV
	加速电压	500 V ~ 30 kV
样品室	真空系统	全自动控制，无油真空系统
	摄像头	三摄像头
	摄像头	（光学导航+样品仓内监控x2）
	样品台类型	五轴机械优中心样品台
	样品台行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
	样品台行程	T: -10°~+70°，R: 360°
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器
	标配	旁侧二次电子探测器（ETD）
	选配	插入式背散射电子探测器(BSED)
		插入式扫描透射探测器（STEM）
		能谱仪（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		纳米机械手
		气体注入器
		等离子清洗
		样品交换仓
		轨迹球&旋钮控制板
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

	离子镜筒"承影" 技术特点分辨率：3 nm@30 kV 探针电流：1 pA~50 nA 加速电压范围：500 V~30 kV 使用寿命：≥1000小时长时间稳定性：72小时不间断工作

	纳米机械手技术特点仓内安装方式三轴全压电驱动步进精度≤10nm 最大移动速度2mm/s 集成式控制方式

	离子束-电子束协同

	气体注入器单气体注入多种气源可选伸缩距离≥35 mm 重复定位精度≤10 um 加热温度控制精度≤0.1℃ 加热温度范围：室温~90℃ 集成式控制方式

国仪量子 聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500

国仪量子聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500