国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X-宜器服务网

产品详情

SEM5000X 超高分辨场发射扫描电子显微镜

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至18个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。

产品特点

产品优势

超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求

应用案例

技术参数

型号	SEM5000X
关键参数	分辨率	0.6 nm @ 15 kV，SE
	分辨率	1.0 nm @ 1 kV，SE
	高分辨率模式最大观察视野	≥5mm@5kV
	工作距离WD	<9mm
	加速电压	20 V ~ 30 kV
	放大倍率	1 ~ 2,500,000 x
	电子枪类型	肖特基场发射电子枪,稳定性≥0.2%/h
样品室	真空系统	全自动控制
	摄像头	双摄像头（光学导航+样品仓内监控）
	图像存储分辨率	最大48×32k像素
	样品台类型	五轴优中心马达驱动样品台
	样品台行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm X=130mm，Y=130mm，Z=60mm（选配）
	样品台行程	T: -10°~+80°，R: 360° T=-4~70°、R=360°(旋转) （选配）
	样品舱室尺寸	360mm x 317mm x 310mm 支持8寸晶圆进行观察
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器
	标配	旁侧二次电子探测器（ETD）
	选配	插入式背散射电子探测器(BSED)
		插入式扫描透射探测器（STEM）
		能谱仪（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		样品交换仓（4寸和8寸可选）
		轨迹球&旋钮控制板
		样品台减速
		磁场噪音屏蔽系统（SEMI认证）
支持定制	EBIC功能	进行吸收电流测量、吸收电流成像和电子束感生电流成像
	原位加热芯片	结合EDS等多种不同模式，实时、动态监测样品成分演化等关键信息
	样品可见光学检测子系统	可实现在室温环境中对待检测样品进行光学预检查，包含5X、10X、20X、50X、100X无限远物镜，以及高清CCD相机和测量软件
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航
	图像显示	1536x1024像素，至少2台24”LCD显示器
	图像记录	TIFF、JPG、PNG、BMP等
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散等

国仪量子 超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X

国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X