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SEM3200

国仪量子 钨灯丝扫描电子显微镜 SEM3200

品牌名称:国仪量子

产品型号:SEM3200

产品规格
产品介绍
SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。
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产品详情

SEM3200 钨灯丝扫描电子显微镜 

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SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。

大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。


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产品特点

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导航&防碰撞
光学导航 想看哪里点哪里,导航更轻松
标配仓内摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。

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手势快捷导航

可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大,进行快捷导航
如框选放大:在低倍导航下,获得样品的大视野情况,可快速框选您感兴趣的样品区域,提高工作效率。

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防碰撞技术

采取多维度的防碰撞方案:
1. 手动输入样品高度,精准控制样品与物镜下端距离,防止发生碰撞;
2. 基于图像识别和动态捕捉技术,运动过程中对仓内的画面进行实时监测;
3. 硬件防碰撞,可在碰撞一瞬间停止电机,减少碰撞损伤。(*SEM3200A需选配此功能)


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特色功能

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丰富拓展性

扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴极射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。

背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比

背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。

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电子背散射衍射

钨灯丝电镜束流大,完全满足高分辨EBSD的测试需求,能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图,能够识别晶粒大小和取向,判断晶界和孪晶,对材料组织结构进行精确判断。

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应用案例

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技术参数

型号

SEM3200A

SEM3200

电子光学系统

电子枪类型

预对中型发叉式钨灯丝电子枪

分辨率

高真空

3 nm @ 30 kV(SE)

4 nm @ 30 kV(BSE)

8 nm @ 3 kV(SE)

*低真空

3 nm @ 30 kV(SE)

放大倍率

1-300,000x(底片倍率)

1-1000,000x(屏幕倍)

加速电压

0.2 kV~30 kV

成像系统

探测器

二次电子探测器(ETD)

*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等

图像保存格式

TIFF、JPG、BMP、PNG

真空系统

真空模式

高真空

优于5×10-4 Pa

*低真空

5~1000 Pa

控制方式

全自动控制

样品室

摄像头

光学导航

样品仓内监控

样品台配置

三轴自动

五轴自动

行程

X: 120 mm

X: 120 mm

Y: 115 mm

Y: 115 mm

Z: 50 mm

Z: 50 mm

/

R: 360°

/

T: -10°~ +90°

软件

语言

中文

操作系统

Windows

导航

光学导航、手势快速导航

自动功能

自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

特色功能

智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件)

安装要求

房间

长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm

温度

20 ℃~25 ℃

湿度

≤ 50 %

电气参数

电源AC 220 V(±10   %),50 Hz,2 kVA


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