产品综述
SMM3000X 系列是精密的源/测量单元(SMU)仪器,可同时输出并测量电压和电流,在仪器中集成了电流源、电压源、电压表、电流表功能,各功能可任意切换。其使用的图形用户界面(GUI)和先进的电容式触摸屏技术提供更优的交互使用。
SMM3000X 系列是一款多功能仪器,特别适合半导体特征分析,纳米级器件和材料,有机半导体,印刷电子以及其他小几何尺寸和低功耗器件的测试应用。广泛应用在研发和教育应用、工业开发、测试和制造业等领域。
产品功能
基本功能
集成四象限源和阱,测量功能
测量范围:±210 V,±3 A(DC),±10.5 A(pulsed)
源和测量分辨率:最小 10 fA ,100 nV
拓展功能
脉冲,扫描,列表输出,输出滤波器,电阻测量,数学表达式,Limit 测试,迹线缓冲区,过温保护,触发系统等
丰富的触发模式,6 组外触发接口,6 个输入,6 个输出支持
Web-server
中英文菜单,内置帮助系统,方便信息获取
应用领域
半导体、分立与被动元件测试
二极管、激光二极管、LED
光电探测器、传感器
场效应管、三极管
ICs(ICs、RFICs、MMICs)
电阻、变阻器、热敏电阻、开关
精密电子及绿色能源器件测试
光伏电池
功率半导体
电池,汽车,医学仪器
用于板级测试的功率与直流偏置源
研究及教育
新材料研究
纳米器件特性
巨磁电阻
有机设备
任何精密 I/V 源或测量
特性与优点
5 英寸真彩 TFT-LCD 大屏显示,分辨率 800*480,搭配触摸屏及全新 UI 交互,图形和数字视图模式
10 fA / 100 nV 最小输出及测量分辨率
6½ 显示分辨率(2,100,000 count)
最大采样速率 100ksps,0.0005 PLC 采样间隔,最大 100 PLC
最小触发间隔 10 μs
大至 100k 点的内部存储空间,支持时间戳四象限精密电源输出(单/双通道)及测量
高达±210 V 直流电压、±3 A 直流电流/±10.5 A 脉冲
电压源、电流源、电压表、电流表或电阻表五种基本模式
支持直流、脉冲、扫描及列表输出
脉冲输出的脉宽最小可达 50 μs
任意波形生成及列表扫描功能(最小 10 μs 间隔)
二线制测量/四线制测量,Delta 低电阻测试方法,有效补偿由热电动势引起的测量误差
支持标准 SCPI 远程控制命令
输出滤波器时间常数可设置以实现不同频响输出,最大 5ms
配置接口:USB Device(选购 USB-GPIB 适配器),USB Host,LAN
脉冲模式下,SMM3000X系列支持±10.5A的脉冲电流输出,最小脉宽可达50μs,能够精准模拟功率器件的瞬态工况,如GaN(氮化镓)、SiC(碳化硅)器件的开关损耗测试等,为功率半导体器件的研发和测试提供了强有力的支持。
SMM3000X系列支持线性/对数扫描,可根据用户预设的起始点至终止点,以固定的步进值逐点输出电压或电流,同时自动测量并记录每个点的值。用户可以快速地验证二极管、晶体管等半导体器件在不同工作点下的特性,获取其导通特性曲线,对器件进行性能分析和优化。
列表模式支持用户自定义输出序列,最小间隔可达10μs,参数变化可以是线性的,也可以是非线性的,甚至是任意值或自定义顺序。SMM3000X按照列表中设定的值依次输出电压或电流,同时测量并记录数据,适用于不规则的电压/电流变化测试或多段测试等。
SMM3000X系列提供了Graph视图、Roll视图和测量结果视图等多种视图模式。用户可以通过Graph视图对数学运算结果进行实时曲线绘制,通过Roll视图对测试数据的时域波形进行显示,通过测量结果视图获得迹线统计结果统计视图。多种视图模式提供了多维度的参数分析,用户可更直观地理解和分析测试数据。
SMM3000X系列基于先进的SCPI命令集,支持通过USB、LAN接口与计算机通信,实现高效便捷的远程控制。用户既可通过网页Web Server轻松操控,也可结合SCPI命令进行深度自定义编程,满足多样化测试需求。此外,用户还可利用Socket通信技术,通过TCP/IP协议与SMM3000X进行网络交互,轻松实现远程测试与控制。
型号和主要参数
基本参数 | SMM3311X | SMM3312X | |
源输出(DC) | 电压 | ±210 V | ±210 V |
电流 | ±3.03 A | ±3.03 A | |
脉冲 | ±10.5 A | ±10.5 A | |
位数 | 源 | 6.5 位 | 6.5 位 |
测量 | 6.5 位 | 6.5 位 | |
电流分辨率 | 源 | 10 fA | 10 fA |
测量 | 10 fA | 10 fA | |
电流量程(DC) | 10 nA - 3 A | 10 nA - 3 A | |
电压分辨率 | 源 | 100 nV | 100 nV |
测量 | 100 nV | 100 nV | |
电压量程 | 200 mV - 200 V | 200 mV - 200 V | |
触发最小时间间隔 | 10 μs | 10 μs | |
通道数 | 1 | 2 | |
规范条件 | |||
温度 | 23 °C ±5 °C | ||
湿度 | 30% to 80% RH | ||
校准周期 | 1 year | ||
测量速度 | 1 PLC(power line cycle) | ||
热机60分钟后 | 自校准环境温度变化小于±3 °C | ||
输出 | |||
象限 | 4 | ||
最大采集速率 | 100,000 points/s | ||
输出通道数 | 1 | 2 | |
最大输出/吸收负载功率 | 31.8 W | ||
DC or pulsed | ±210 V ≤0.105 A | ||
±21 V ≤1.515 A | |||
±6 V ≤3.03A | |||
Pulsed only | ±200 V ≤1.515 A | ||
±6 V ≤10.5 A | |||
最大输出电流限定 | |||
最大电流限定:对应 21 V/1.515 A and 6 V/3.03 A 量程,2 通道机型输出最大总电流作如下限定。单通道机型无限定。 | |||
I 1:CH1 电流 I 2:CH2 电流 | I 1(CH1:±6V) + I 2(CH2:±6V) ≤4A | ||
I 1(CH1:±6V) + I 2(CH2:±6-21V)X1.6 ≤4A | |||
I 1(CH1:±6-21V) + I 2(CH2:±6V)X0.625 ≤2.5A | |||
I 1(CH1:±6-21V) + I 2 (CH2:±6-21V) ≤2.5A | |||
他补充特性 | |||
输出特性 | |||
测量模式 | 两线或四线感应测量模式 | ||
LO 端子连接模式 | 浮地和连接机壳地 | ||
输出连接 | 香蕉插头。 对于小于 1 nA 的源和测量,建议采用三轴线缆连接。 香蕉插孔到三轴适配器可用于低电流测量。 | ||
输出位置 | 通道 1 前面板,通道 2 后面板 | ||
最大对地电压 | ±250 VDC | ||
最大容性负载 | 正常模式:0.01 μF 高电容模式:50 μF | ||
Guard 偏置电压(电压源) | < 4 mV | ||
sense 端子工作补偿电压 | High Force 和 High Sense 最大电压= 1.5 V Low Force 和 Low Sense 最大电压= 1.5 V | ||
共模隔离 | > 1 GΩ,< 4500 pF | ||
Sense 输入阻抗 | > 10 GΩ | ||
最大感应线电阻值 | 1 kΩ |
订购信息
产品型号 | 产品说明 |
SMM3311X | Precision Source/Measure Unit,1 ch,10 fA,210 V,3 A DC/10.5 A pulse |
SMM3312X | Precision Source/Measure Unit,2 ch,10 fA,210 V,3 A DC/10.5 A pulse |
标准配件 | 数量 |
USB 数据线 | 1 |
快速指南 | 1 |
产品保修卡 | 1 |
电源线 | 1 |
输出线缆 | 1(SMM3311X), 2(SMM3312X) |
选配配件 | |
USB-GPIB适配器 |