CVD-TF12T50

CVD-TF 12T60

CVD-TF12T80

CVD-TF12T100

双温区

CVD-TF12P50S

CVD-TF12P60S

CVD-TF12P80S

CVD-TF12P100S

CVD-TF12T50S

CVD-TF12T60S

CVD-TF12T80S

CVD-TF12T100S

性能

使用温度范围

300-1200℃

温度分辨率

1℃

温度精度

±1℃

升温速率

0 ~ 20℃/min

加热区长度

420mm

恒温区长度

单温区:210mm;双温区:280mm

最大真空度

-0.1MPa

空炉升温时间

≤15min

配置炉管时升温速度

500℃以下≤5℃/min;500-800≤10℃/min;   800-1000≤5℃/min;1000-1200℃=2℃/min

构成

外装

冷轧钢板，表面耐药品性涂装

炉瞠体

多晶莫来石纤维

炉瞠尺寸

外：Φ240*550mm；内：Φ120*420mm

炉管

石英管

炉管尺寸

Φ50/43*100o

Φ60/53*1000

Φ80/72*1000

Φ100/92*1000

加热器

镍铬铝合金丝OCr27A171Mo2

加热功率

单温区:3KW;双温区:3.2KW

断热层

双层强制风导流

打开方式

掀盖式后翻（约100度）

控制器

控制器

P：进口程序控温数码显示; T:7吋彩色触摸屏程序控温

控制方式

使用微电脑PID控制/S型双温区单独控温

设定方式

P：轻触五按健动作、数显设定;T：手指触摸轻点设定

显示方式

P：双行LED数字显示;T：彩色液晶屏显示

定时

0~999.9小时

运行功能

定值运行、程序运行

程序模式

P:程序运行、4条曲线，共40步;T:最大50步，可调用储存程序

传感器

K型热电偶

附属功能

P:校正功能;T:校正功能、实时曲线记录、U盘数据导出

安全装置

过流漏电保护开关

质量流量控制系统

气路数量

3路（可根据具体需要选配气路数量）

流量范围

0-0500sccm（标准毫升/分，可选配）氮气标准

精度

±1%F.S

响应时间

≤4s

工作温度（流量计）

5-45℃

工作压力

进气压力0.05-0.3MPa（表压力）

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

中真空控制系统

系统真空范围

10-100Pa

真空泵

双级机械泵理论极限真空度3x10^-1Pa，插气速率4L/s，出气口配有油污过滤器，额定电压200V，功率0.55Kw

CVD系统配置

1200度开启式真空管式炉（可选配单温区、双温区） 多膺质量流量控制系统   真空鄢统

规格

炉体外型尺寸

980mm*400mm*600mm

系统外形尺寸

770mm*580mm*778mm

系统总重量

210kg