奥林巴斯 3D激光扫描显微镜 LEXT™ OLS5100-宜器服务网

产品详情

LEXT™ OLS5100 3D激光扫描显微镜概述
适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将卓越的测量精度和光学性能与智能工具相结合，让显微镜更加方便使用。通过快速高效精确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。

LEXT™ OLS5100 3D激光扫描显微镜技术参数

型号		OLS5100-SAF	OLS5100-SMF	OLS5100-LAF	OLS5100-EAF
总倍率		54x–17,280x
视场		16 µm–5,120 µm
测量原理	光学系统	反射式共焦激光扫描激光显微镜反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜颜色彩色DIC
	光接收元件	激光：光电倍增管（2通道）彩色：CMOS彩色相机
高度测量	显示分辨率	0.5 nm
	动态范围	16位
	重复性σn -11 2 *5	5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm
	准确度1 3 *5	0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]）
	拼接图像准确度1 3 *5	10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])
	测量噪声（Sq噪声）1 4 *5	1 nm（典型值）
宽度测量	显示分辨率	1 nm
	重复性3σn-1 1 2 *5	5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm
	准确度1 3 *5	测量值+/- 1.5%
	拼接图像准确度1 3 *5	10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接长度[mm]）
单次测量时最大测量点数量		4096 × 4096像素
最大测量点数量		3600万像素
XY载物台配置	长度测量模块	•	不适用	不适用	•
	工作范围	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动	300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动
最大样品高度		100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)	30 mm (1.2 in.)	30 mm (1.2 in.)	210 mm (8.3 in.)
激光光源	波长	405 nm
	最大输出	0.95 mW
	激光等级	2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色光源		白光LED
电气功率		240 W	240 W	278 W	240 W
质量	显微镜主体	约 31 kg	约 32 kg	约 50 kg	约 43 kg
	控制箱	约 12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20?C±1?C，湿度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所规定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5 基于奥林巴斯认证系统下的保证。

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