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AL120-12

奥林巴斯 自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12

品牌名称：奥林巴斯

产品型号：AL120-12

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产品规格
产品介绍
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
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奥林巴斯 自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 - 产品说明书
76页
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产品详情

AL120-12 自动300 mm晶圆搬送机 概述

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。

人机工程学设计，操作方便

  • 可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。

  • 分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。


坚固、可靠和安全传送

  • 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。

  • 薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。

  • 宏观观察位置的优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。


AL120-12 自动300 mm晶圆搬送机 技术参数

自动300   mm晶圆搬送机 AL120-12 规格


AL120-LMB12-LP3

AL120-LMB12-F

晶圆尺寸

300   mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm

卡盒

●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹
●SEMI：E47.1-0200规格产品
●FIMS-FOSB, FOSB

●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒
●SEMI：M31-0999规格产品

卡盒数

单盒（装载、卸载兼用）

卡盒设置高度

900   mm

装载端口

有

无

搬运顺序

表面宏、内面宏、显微镜检查

检查模式

全部检查、抽样检查

晶圆校准

非接触式中心环

晶圆搬运方式

真空吸附机械搬运

适用显微镜

半导体检查显微镜MX61L

应用环境

AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
  真空-67～-80 Kpa
  压缩空气0.5MPa～0.6MPa

AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
  真空-67～-80 Kpa

载物台

XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构

重量（不包括显微镜）

约360   kg

约270   kg


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