LV-0383 显微镜测量单元 概述
LV-0383是LV系列激光多普勒振动仪配套使用的3维显微镜测量单元。3台激光多普勒振动仪与显微镜光学系统相结合,3轴方向对微小物体的振动进行非接触测。配有同轴照明装置与2台倍率不同的数码相机,可以方便迅速地确定测量位置,并可记录静止画像。可以用于MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)等微小构造物,微小质量物体等,使用接触方式测量困难的超声波驱动的振动对象等,3轴同时进行振动现象的分析评价。
※ LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时
LV-0383 显微镜测量单元 应用领域
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)的振动评价
压电元件的剪切应力的状态测量
超声波关联物体的振动测量
微小构造物的非接触3维振动测量
LV-0383 显微镜测量单元 产品特点
可3维非接触测量振动频率范围0.3 Hz~100 kHz ※1
被测物与照射激光,经2个不同倍率(视野)的途径同时观测确定测量位置 ※2
激光焦点直径最小φ4.5 µm以下可测量微小物体
配套激光多普勒振动仪LV-1800,LV-1710*/LV-1720*/1720A*等
※1 100 kHz以上的分析需求可商谈对应
※2 LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时
LV-0383 显微镜测量单元 技术参数
配套激光多普勒振动仪 | LV-1800 | |
光学参数 | 检测器尺寸 | M22 X 0.5 长度 4 mm |
测量距离 | 38.9 mm(使用物象镜头10 X时) | |
焦点直径 | 4.5 µm | |
观测装置 | CMOS数码相机 | 1280 x 960 (USB 2.0输出) |
焦点调节单元 | 方式 | 手动粗调 / 微调 |
上下调节 | 30 mm | |
粗动调节 | 36 mm/R | |
微动调节 | 0.2 mm/R | |
伸延长度 | 100 mm | |
脱落防护 | 装备脱落防护装置 | |
基台 | 材料 | 铝制(配有上磁钢板) |
尺寸 | 310 mm X 300 mm | |
激光安全标准 | 激光安全等级 | 3R级 |
3维光学系统 | 夹角 | 45° |
夹角调整 | ±1° | |
夹角调整 | ±1° | |
扩展性 | 可2轴使用 | |
激光焦点 | 各轴设置激光多普勒传感器分别实施 | |
使用环境 | 使用环境 | 依照配套传感器 |
重量 | 17 kg(不包括传感器) |