用途
BM-107JE型测量显微镜是一种小型二维数显测量的计量仪器,仪器主要采用透、反射照明方式,通过观察和数显系统对精密件的几何量(长度、角度)进行观察、分析、测量。特别适用于大规模集成电路线宽、小型零件(如钟表零件)及其他精密件几何参数的测量。 仪器可以连接CCD进行影像测量。仪器体积小、重量轻、可广泛应用于计量室、生产作业线以及科学研究部门。
技术规格
光学系统 | 无限远正像光学系统 | ||||
观察方式 | 目镜筒 | 1、30°铰链式三目头(48mm-75mm) | |||
光学方式 | 透射、反射 | ||||
物镜参数 | 倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
视场直径(mm) | 34 | 17 | 8.5 | 3.5 | |
工作距离(mm) | 14.47 | 16.01 | 10.5 | 5.1 | |
目镜参数 | WF10X/Φ22mm | ||||
WF10X/Φ20mm带0.1mm十字分划板 | |||||
测量范围 | 工作台测量范围:50×50mm | ||||
圆工作台角度测量范围:0°~360° | |||||
分度值 | X,Y方向分度值:0.001mm | ||||
圆工作台游标分度值:5′ | |||||
测量精度 | 仪器示值误差±(4+L/25)μm, L-被测件长度mm | ||||
调焦装置 | 粗微动同轴调焦行程:150mm,微m动格值:0.002mm | ||||
照明装置 | 反射照明:柯勒照明, LED(3W), AC100V-240V 透射照明:LED(3W), AC100V-240V | ||||
仪器主要尺寸 | 工作台:200×200mm,测量工作台直径120mm , | ||||
选购件 | 无限远长工作距离物镜:80X(WD=2.76mm)、 100X(WD=3.1mm) | ||||
2、日本三丰Mitutoyo 数显测微手轮 分辨率0.001mm 公英制转换 | |||||
3、Z向辅助测量装置 | |||||
4、二维测量软件 |