58635 Series 光电组件晶圆点测系统
随着光电组件的技术越趋成熟,应用也越来越广泛。其中,雷射二极管(laser diode)除通讯应用外,也朝消费性应用扩展。因应此全新市场,致茂电子藉由多年累积之光电量测技术,开发专为消费性应用之光电组件晶圆点测系统Model 58635系列机种。
58635系列最大可测试6吋晶圆,并搭配致茂电子之精密测试仪器设备,如电流源与温度控制器,能满足雷射二极管测试之严苛要求,雷射二极管相关光电特性参数随温度变化而有所变异,58635系列机种精准之温度控制,能提供最稳定、最准确之量测数值。Model 58635系列因应不同测试需求,共包含4机种:58635-L、58635-N、58635-F、以及58635-LN。
LIV量测系统
致茂电流源提供准确稳定之电流源以及电压量测,搭配积分球与光谱仪,提供准确
之光功率与波长量测。藉由58635-L完整之软件功能,所有LIV与波长之相关参数均能
在此量测。
近场量测系统
58635-N参照ISO关于雷射近场量测之相关规范,对于雷射二极管之光束传播比例(beam propagation ratio)或光束品质(beam quality)之相关参数,提供精准快速之量测。
远场量测系统
58635-F针对雷射二极管之远场光学特性进行测量,诸如雷射之发光角度。另参照IEC人眼安全相关规范,58635-F能于远场找寻光束最强之处,从而判断是否符合人眼安全相关规范。
LIV与近场2合1量测系统
58635-LN可在同一次点测中,同时测试LIV与近场量测的所有测试项目。致茂独特的二合一光学头设计,使系统在相同机台尺寸下,便能达成LIV与近场的测试,节省宝贵的无尘室空间。
产品性能特点
依据ISO/IEC标准
最大可测试6吋晶圆
宽广的测试范围与高精准温度控制
同时支持Pulse与CW模式操作
LIV量测: Model 58635-L
近场量测: Model 58635-N
远场量测: Model 58635-F
LIV与近场2合1量测 : Model 58635-LN
支持multisite测试
可选购高速短脉冲电源功能
应用范围
技术参数
Model | 58635-L | 58635-N | 58635-F | 58635-LN |
Measruements | LIV and λ | Near Field | Far Field | LIV and Near Field two-in-One |
Measurement Capability | LIV sweep, Leakage current, Ith, Kink, Center wavelength (λc), Peak wavelength (λp),FWHM | Beam Diameter, Beam divergence angle,Beam propagation ratio, Emitter power uniformity,Dead emitter count | Beam divergence, Max energy/power through 7mm aperture | All LIV & Near Field test items |
Optical Test Module | Integrating sphere with spectrometer | CCD Camera with auto focus microscope system | CCD Camera | Special Two-in-One design |
Temperature Control Capability | 25~85˚C (standard) 0~100˚C (option) | |||
SMU Specifications | ||||
Channel Counts | Depend on DUT structure, configurable by PXI base | |||
SMU Features | PXI base, Bi-polar, 25W/channel, 4 wires, CW and QCW | |||
Voltage Ranges | ±25V, ±12.5V, ±10V, ±5V, ±2V, ±1V, ±500mV, ±200mV, ±100mV | |||
Current Ranges | ±6A(only pulse mode), ±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA | |||
Current Pulse Width | >100µs | |||
Pulse Duty Cycle | <10% ( when 2.5A< current < 3.5A, pulse width ≦5ms, voltage<5V) <5% (when 3.5A< current <6A, pulse width ≦5ms, voltage<5V) |
订购信息
58635-L: 光电组件晶圆LIV点测系统
58635-N: 光电组件晶圆近场量测点测系统
58635-F: 光电组件晶圆远场量测点测系统
58635-LN: 光电组件晶圆LIV&NF点测系统