概述
探知未来
原子力显微镜(AFM)是在样品表面用微小的探针进行扫描,通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。
HT扫描器
缩短观察时间 高通量扫描
通过新开发的可快速响应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化,成功实现以传统设备5倍以上的速度(与本公司相比)获取图像数据。
扫描器可简单更换,因而可使用传统扫描器。另外,可通过在原SPM-9700上追加HT扫描器,实现设备的高效率分析。
分析案例
• 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析
以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。
• 光栅沟槽形状检测
以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析,沟槽形状检测结果均相同。
探针专家
探针安装夹具——“探针专家”(选配)
可轻松地准确安装探针。
安装顺序:
① 将探针架安装在探针安装夹具上。
② 将探针置于滑动台上。
③ 将探针插入探针架并固定,保持探针能够滑动。
头部滑动机构 高稳定性&高速分析处理
光杠杆系统和悬臂合为一体的头部机构,仅通过整体滑动设置即可实现样品更换。激光连续照射,维持高稳定性。无需调整光轴中断激光照射,从而缩短分析时间。
高稳定性
维持高刚性,光杠杆系统可作为一体滑动
高速分析处理
维持高刚性,成功地开放了样品周围的空间
高稳定性
样品交换式也可保持激光稳定照射悬臂
不受震动、声音和外界影响,无需专门的风挡
内置减震器
SPM-9700HT 高稳定性的秘诀
维持高稳定性的构造 –不同激光照射方式下的稳定性比较-
高速分析处理
无需拆除县臂架即可进行样品交换。
在SPM观测时,也可接触样品。
无论样品的厚薄,可自动驱近到更适宜的观测位置。
SPM-9700HT高速分析处理的秘诀
优异的操作性能-样品更换的分析处理比较-
鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示
SPM-9700HT仅用鼠标即可实现旋转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化,调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能,由此实现高度分析,提高图像确认的效率。
放大缩小、旋转、Z轴倍率变化。
质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。
3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析。质感功能显示物理性信息时,也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状,并进行分析。
从观察到分析实现无拘无束的可操作性
从在线观察到离线分析采用无界限约束的新界面(GUI)设计,实现了从观察操作到观察位置、结果分析的简单便捷操作。
操作简单明确
从启动到观察、分析,均无复杂的设定,轻松点击鼠标即可进行操作。 自动进针,自动扫描,全程保护探针不受损伤,同时保证图像分辨率和探针寿命。
1、启动
在管理画面上选择观察模式。
2、设定
按照操作指南的步骤进行操作,即可轻松完成。
3、开始观察
单击“开始观察”按键,从驱近样品表面到进行分析全过程实现自动。兼顾探针保护、操作便利和图像分辨率。
4、表示
无需切换至在线状态,即可对之前获取的图像进行确认。
5、离线分析
通过丰富的图像显示、处理、分析功能,尽显完好的观察结果,并可进行定量分析显示。
观察位置简单明确
1、观察画面
至多可同时显示8组画面,可以实时对形貌和无形等多组图像进行比较。
2、导航功能
可以在一个以观察的较大的区域,通过自由导航功能引导进一步观察任何一个指定的特定区域。已保存的图像数据也可作为参照表示。
观察结果简单明确
3、在线测长
可以边观察边在在线画面上测定断面形状。
4、图像历史记录
能够将之前的图像数据与观察中的图像数据同时显示比较。
丰富的扫描功能
5、力制图
通过观察到的图像数据的个点测定力曲线,能够观察出样品的机械特性和吸着力的分布。
6、矢量扫描
可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程,并按设定要求进行观察。
满足所有要求的功能和扩展性
丰富的设定模式,不仅可以显示样品形状,更可获得反应电流、电位、硬度和粘弹性等样品表面物理信息的图像。
标配
选配
接触模式AFM
悬臂和样品始终保持接触,控制悬臂与样品之间的相互作用保持一定状态下,扫描样品表面的模式。这是典型的AFM模式,可以得到目前更高分辨率图像。
云母的原子图像(使用充气平台)
动态模式AFM
悬臂在谐振频率附近震动。在悬臂震动的状态下悬臂接近样品时振幅会发生变化。利用这种现象,在保持振幅不变的状态下进行扫描,获得样品高度方向的变化数据。
相位模式
在动态模式扫描中,由于样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,据此可以图像化显示被测样品表面的物理性质差异。
水平力(LFM)
垂直于悬臂的长度方向的扫描,通过检测悬臂的弯曲量变化,可以检测样品表面受到的水平力(也叫摩擦力)的大小。
力调制模式
悬臂和样品的接触扫描过程中,悬臂周期性的压入样品,将产生的响应分离成振幅和相位后进行图像化,这样可以测量样品表面的不同物理性质并能进行图像化显示。
力曲线模式
扫描中,悬臂和样品的距离在不断变化,可以用曲线表示悬臂的作用力变化。
电流模式
接触模式扫描中,在悬臂和样品间加上一个偏压,就可以测量悬臂和样品间流过的电流。
表面电势模式(KFM)
在导电悬臂和样品之间加上交流电压,可以检测出悬臂-样品表面间相互作用的电场力和样品表面的电势分布情况。
磁力模式(MFM)
将磁化的悬臂离开样品表面扫描,检测出漏磁场与磁力,将样品的磁性化信息图像化。
矢量扫描
可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程,并按设定要求进行观察。
溶液中观察(培养皿型溶液池)
样品固定在培养皿的底部,探针在溶液中进行扫描,实现AFM在溶液环境下的观察。
电化学反应观察(电化学反应溶液池)
在电解溶液中通过电化学反应,使用AFM观察样品表面的变化。采用标准3电极(作用电极、对极、参照电极)。