性能和规格
检测灵敏度 | 10﹣13~100Pa·m3/s[He] |
检测气体 | 氢/氦 |
分析管 | 270°偏转型(磁场偏转磁通量密度0.17T) 镀氧化钇铱灯丝(内置两根) 带温度补正的自动调谐灵敏度校准 |
真空系统 | 拖动分子泵(排气结构70L/s) 非接触式干式真空泵(250L/min) 皮拉尼真空计(双系统) |
检测口 | 最大压力1000Pa 连接口NW25KF 氦气排气速度3L/s |
质量 | 主机约68kg(MSE-2402)、96kg(MSE-2403) |
电源 | 订购时指定单相AC100/110/115/120/200/220/230/240V ±10%、50-60Hz、700VA中的任意一个 |
输入输出 | RS-232C接口 EXT-UNIT接口(外部单元) |
外形尺寸MSE-2402
外形尺寸MSE-2403
应用领域:
半导体和平板显示器制造;
LED制造;
镀膜设备;
制冷设备和空调的元件及部件;
低温压力容器;
阀门气密性;
捡漏航空部件,配件及系统。