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MSE-4400

岛津 电子封装类专用氦质谱检漏仪 MSE-4400

品牌名称:岛津

产品型号:MSE-4400

产品规格
产品介绍
在线大批量气密性检测机型,适用于半导体元器件、电子封装器件等气密性检测。
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渠道商
地址:广东省.深圳市      获取报价
产品详情

性能和规格

检测灵敏度

10﹣13~100Pa·m3/s[He]

判定是否合格的泄漏量

2.5×10-10Pa·m3/s[He]

产距时间

6秒范围(排放干燥氦气时)

分析管

270°偏转型(磁场偏转磁通量密度0.17T)

镀氧化钇铱灯丝(内置两根)

带温度补正的自动调谐灵敏度校准

真空系统

拖动分子泵(排气结构70L/s)

油旋片式真空泵(30L/min 50Hz)

大容量油旋片式真空泵(1080L/min 50Hz)

皮拉尼真空计(双系统)

真空系统

300cc[ф80×H60](带试料筐)

质量

主机约260kg

电源

三相AC200V±10%50/60Hz、3.0kVA

输入输出

RS-232C接口

EXT-UNIT接口(外部单元)

 

外形尺寸

尺寸1.jpg


应用领域:

水晶振动子;

SAW滤波器;

MEMS滤波器;

各种电子元器件。

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