性能和规格
检测灵敏度 | 10﹣13~100Pa·m3/s[He] |
判定是否合格的泄漏量 | 2.5×10-10Pa·m3/s[He] |
产距时间 | 6秒范围(排放干燥氦气时) |
分析管 | 270°偏转型(磁场偏转磁通量密度0.17T) 镀氧化钇铱灯丝(内置两根) 带温度补正的自动调谐灵敏度校准 |
真空系统 | 拖动分子泵(排气结构70L/s) 油旋片式真空泵(30L/min 50Hz) 大容量油旋片式真空泵(1080L/min 50Hz) 皮拉尼真空计(双系统) |
真空系统 | 300cc[ф80×H60](带试料筐) |
质量 | 主机约260kg |
电源 | 三相AC200V±10%50/60Hz、3.0kVA |
输入输出 | RS-232C接口 EXT-UNIT接口(外部单元) |
外形尺寸
应用领域:
水晶振动子;
SAW滤波器;
MEMS滤波器;
各种电子元器件。