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纳米深度3D形状显微检测仪 AE-100M-NS10
纳米深度3D形状显微检测仪 AE-100M-NS10

广东万濠 纳米深度3D形状显微检测仪 AE-100M-NS10

品牌名称：万濠精密

产品型号：AE-100M-NS10

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产品规格
产品介绍
1、触控面板(Touch Panel)
2、太阳能板(Solar Cell)
3、晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)
4、光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)
5、微机电元件(MEMS Components)
6、平面液晶显示器(LCD)
7、高密度线路印刷电路板(HDI PCB)
8、IC封装(IC Package)
9、精密微机械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)
10、以及其它材料分析与元件微表面研究。
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深圳市乐买宜电子有限公司
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产品详情

AE-100M-NS10 纳米深度3D形状显微检测仪

纳米3D显微形貌快速呈现

纳米深度3D形状显微检测仪不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、

普通大气环境下完成3D纳米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，

更可提供镜面表面的纳米级粗糙度和台阶高度分析。

纳米深度3D形状显微检测仪具有极强的测量能力，可在几秒内就完成整个视场的扫描，得到

测量样品的3D圆形与高度数据，检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜，

3D圆形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力，且不需要使用电子束或镭射，关机

快又安全，维护成本更低。

无论是 抛光面，还是粗糙面，甚至是高透明材质（例如石英），只要有超过1%以上的反射率

就能够被检测。适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：

1、触控面板(Touch Panel)

2、太阳能板(Solar Cell)

3、晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

4、光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

5、微机电元件(MEMS Components)

6、平面液晶显示器(LCD)

7、高密度线路印刷电路板(HDI PCB)

8、IC封装(IC Package)

9、精密微机械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

10、以及其它材料分析与元件微表面研究。


技术参数

AE-100M-NS10

移动台（mm）

平台尺寸150*150，行程80*60

镜筒放大倍率

1.0

物镜放大倍率

10X

20X

50X

观察与量测范围（mm）

0.43*0.32

0.21*0.16

0.088*0.066

光学解析度（μm）

1.15

0.86

0.62

收光角度（Degrees）

17

23

33

工作距离（mm）

7.4

4.7

3.4

感测器解析度

640*480像素

Z轴移动范围

45mm   ,手动细调

Z轴位置数位显示器

解析度0.5μm

机台重量

50kg

载重

1kg

倾斜调整平台

双轴/手动调整

高度测量

测量范围

100μm(400μm,选配)

量测解析度

0.1nm

重复精度（σ）⑴

≤0.1%（量测高度：>10μm）

≤10nm（量测高度：1μm～10μm）

≤5nm（量测高度：<1μm）

量测控制

自动

光源

光源类型

白光LED灯箱

平均使用寿命

30000小时

资料处理与显示用电脑

中央处理运算单元

双核心以上CPU

影像与资料显示屏幕

17〞液晶荧幕

作业系统

Windows7

电源与环境要求

电源

AC110V/220V,50Hz/60Hz

环境振动

VC-C等级以上

量测与分析软体

量测软体/分析软体

ProfileViewer软体：

具VSI/PSI量测模式、ISO粗糙度/阶高分析、

多样的2D和3D观测视角图、图像缩放、标准影像档案格式转换、报表输出等。

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