适用范围：
本规范适用于电压测量范围±(0.1 V～3 000 V)、电流测量范围±(1 pA～1 500 A)的半导体参数精密分析仪的校准。
基本信息
标准号：JJF 2009-2022
标准名称：半导体参数精密分析仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Semiconductor Parameters Precision Analyzers
标准状态：现行
发布日期：2022-12-07
实施日期：2023-06-07
出版语种：中文简体
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