产品介绍
CT6201 是全自动的 CoC 测试系统,便捷高效使其成为 CoC 大规模量产的最佳选择。采用和联讯仪器BI6201相同的测试夹具,降低了被测芯片上下料的流程,同时也消除了上下料过程中EOS/ESD潜在风险。专利设计的光功率耦合系统设计,确保了光学耦合和光谱测量的快速性和重复性。特有的双测试载台设计,每个载台可以独立温控,节省升降温等待的时间,配合CoC夹具双侧并行测试,大大提高了测试吞吐率。
主要特点
温度范围大,稳定性高
温度控制范围大:25-100°C;温度稳定度高:<±0.1C;
测试效率高
双测试载台,支持双侧面并行测试,自动上下夹具,降低了人为参与的复杂性和出错概率,极高的测试速度:每个CoC测试时间<9s;
重复性高
阈值电流重复性:<±0.5%;功率重复性:<±1%;波长重复性:<±0.05nm;SMSR重复性<5dB
扩展性高
支持直流或者脉冲电源驱动激光器;集成联讯仪器精密源表。
技术规格
系统参数 | 芯片类型 | CoC/CoS |
夹具类型 | 支持CoC老化系统相同的夹具 | |
标准48pcs芯片夹具(可以定制) | ||
上下夹具 | 自动上下夹具 | |
夹具ID扫描识别 | 自动夹具Barcode扫描识别 | |
并行测试 | CoC夹具双侧面并行测试 | |
标准样品控制 | 软件支持标准样品管控功能。如果标准样品在本机台测试超过时间周期(可配置),系统自动告警 | |
测试机台控制 | 软件支持测试机台管控功能,如果相同夹具在老化前后分别在不同的测试机台进行测试,软件会自动产生告警提示。 | |
测试配置管控 | 软件支持测试配置管控,包括测试仪表,测试算法,测试序列,测试结果判断等。 | |
测试数据 | 支持用户要求的所有测试数据/支持MES相关的需求 | |
电学指标 | SMU类型 | 标准精密源表 |
直流电流 | 3A | |
I/V 源分辨率 | 10fA/100nV | |
I/V 测量分辨率 | 10fA/100nV | |
电压范围 | 70V | |
脉冲电流 | 10A | |
EOS | 无EOS(任何正常操作和使用条件下) | |
光学指标 | 光功率测量探测器类型 | Ge |
光功率波长范围 | 1200-1700nm(可扩展到700~1700nm) | |
光功率测量范围 | 10uW-300mW(>25mw需加衰减片) | |
光功率测量精度 | <0.2dB | |
光谱测量范围 | 集成横河AQ6360 或其他光谱仪 | |
光谱测量精度 | ||
光功率耦合效率 | 耦合功率〉-15dBm@光谱测量 | |
温度控制指标 | 温度控制方法 | TEC |
温度区域 | 2 个独立的温度控制区域(双载台) | |
温度范围 | 25-100℃ | |
温度变化速度(升温/降温) | 20℃/分钟 | |
温度分辨率 | 0.01℃ | |
温度精度 | 25℃-100℃: +/-0.5℃+1%ΔT | |
温度一致性 | <±0.5℃ | |
温度稳定性 | <±0.2℃ | |
测试参数 | Ith重复性 | ±1% |
功率重复性 | ±1% | |
SE 重复性 | ±2% | |
波长重复性 | <±0.15nm | |
SMSR 重复性 | <5dB |