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CR6300

日立 高速缺陷观测设备 CR6300

品牌名称:日立

产品型号:CR6300

产品规格
产品介绍
运用ADR和高精度ADC来为提高良率做贡献的Inline缺陷观测SEM。
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产品详情

产品介绍

运用ADR和高精度ADC来为提高良率做贡献的Inline缺陷观测SEM。

 

产品特点

高画质,高对此,高解析度SEM图像

高速缺陷摄像(ADR)

人性化的GUI

自动缺陷分类(ADC)

Bare wafer自动观测

检查制程说明书(iPQ)


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