产品介绍
AFM5100N除了激光检测方式之外,全新的「自检测悬臂」,在保证高分辨表面形貌观察的同时,大大简化了AFM悬臂操作。
产品特点
简便的悬臂安装
通常的悬臂是非常渺小而且很难操作,内部装有传感器的「自检测悬臂」比普通的AFM探针要大得多,容易拿取,安装非常简单方便。
不用调整激光光斑的自检测方式
激光检测方式的探针需要调节激光光斑的位置,操作复杂,而采用自检测方式的「自检测悬臂」无需调节激光光斑。
精确的悬臂定位
悬臂的机械结构,能够以俯视方式直接观察悬臂的位置,从而轻松调整样品的测量的位置。除此之外,更加尖锐的探针提高了分辨率。
方便的操作导航系统
通过流程图形式的导航系统,任何人都可以轻松地进行高分辨表面测量。另外,通过设定样品的软硬度和凹凸系数等参数,能够简单确定测量条件。
紧凑的主机
主机上包含减震台、隔音罩、光学显微镜等附件,安装紧凑,体积小巧。
优越的扩展功能
通过激光检测方式,能够扩展各种各样的选配功能。另外,只要插拔一根电缆就能够切换成激光检测方式。
技术参数
检测方式 | 激光检测方式/自检测方式 |
样品尺寸 | 最大35 mmφ、厚度10 mm(专用配件厚度扩展至20 mm) |
扫描范围 | 20 µm/1.5 µmH(水平/垂直) 100 µm/15 µmH 150 µm/5 µmH 110 µm/6 µmH(闭环差控制) |
定位显微镜 | 搭载CCD的 变焦显微镜 光学显微镜 金相显微镜 (可以选配) |
减震方式 | 台式减震台 落地式减震台(可以选配) |
操作画面 | 搭载流程图的操作导航系统 |
检测功能 | DFM(dynamic force mode) CURRENT、SSRM、SNDM、PRM、KFM PM(相位模式) (可以选配) |
扩展功能 | AFM、STM、SIS、FFM、LM-FFM、VE-AFM/DFM、Adhision、CURRENT、KFM、PRM、SNDM、SSRM、EFM、MFM |