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ArBlade 5000

日立 离子研磨仪 ArBlade 5000

品牌名称：日立

产品型号：ArBlade 5000

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产品规格
产品介绍
ArBlade 5000是日立离子研磨仪的高性能机型。
它实现了超高速截面研磨。
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产品介绍
ArBlade 5000是日立离子研磨仪的高性能机型。
它实现了超高速截面研磨。
高效率截面加工功能，使电镜截面观察时样品加工更简单。

 

产品特点

截面研磨速率高达1 mm/h*1！

新研发的PLUSII离子枪发射出高电流密度离子束，大幅提高*2了研磨速率。

*1Si突出遮挡板边缘100 µm，1个小时最大加工深度

*2研磨速率是本公司产品(IM4000PLUS:2014生产)的2倍

截面研磨结果对比
(样品：自动铅笔芯、研磨时间：1.5小时)

 

最大截面研磨宽度可达8 mm！

使用广域截面研磨样品座，加工宽度可达8 mm，十分适用于电子元件等的研磨。

 

复合型研磨仪

全新的复合型(截面研磨、平面研磨)离子研磨仪广受好评。
可根据需求对样品进行前处理。

截面研磨

切割或机械研磨难以处理好的软材料或复合材料的截面制作

平面研磨

机械研磨后样品的精修或表面清洁

 

技术参数

通用

使用气体

Ar(氩)气

加速电压

0～8 kV

截面研磨

最快研磨速率(材料Si)

1   mm/hr*1以上含 1 mm/hr*1

最大研磨宽度

8   mm*2

最大样品尺寸

20(W)   × 12(D) × 7(H) mm

样品移动范围

X   ±7 mm、Y 0~+3 mm

离子束间歇加工功能

标准配置

摆动角度

±15°、±30°、±40°

平面研磨

最大加工范围

φ32   mm

最大样品尺寸

φ50   × 25(H) mm

样品移动范围

X   0～+5 mm

离子束间歇加工功能

标准配置

旋转速度

1   r/m、25 r/m

倾斜角度

0～90°

*1Si突出遮挡板边缘100 µm，1个小时最大加工深度

*2使用广域截面研磨样品座时

 


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