日立离子溅射仪 MC1000-宜器服务网

产品详情

产品介绍
采用磁控型电极，最大限度地减轻对样品的损坏。

产品特点

采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件

可处理较厚或较大的样品(选配件)

记忆功能可存储常用加工条件

技术参数

项目		说明
放电	类型	磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
	电极组成	反向平行盘(嵌入磁铁)
	电压	最大 0.4 kV DC(直流可变)
	电流	最大 40 mA DC
喷镀速率 *1(最大) [条件] 压力：7 Pa 放电电流：40 mA 标靶与样品表面之间的距离：20 mm	Pt 靶(选配件)	15 nm/min
	Pt-Pd 靶(选配件)	20 nm/min
	Au 靶(选配件)	35 nm/min
	Au-Pd 靶(选配件)	25 nm/min
样品尺寸	最大直径	φ60 mm
样品尺寸	最大高度	20 mm
机械泵		135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2		Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求		单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸	宽度	450 mm
	长度	391 mm
	高度	390 mm
重量		主机：约 22 kg 机械泵：约 30 kg

*1喷镀速率仅供参考

*2主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂，铂-钯，金，金-钯)。

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