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SE-VE
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沈阳科晶 光谱椭偏仪 SE-VE

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:SE-VE

产品规格
产品介绍
SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。
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产品详情

产品介绍

SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度,微光斑,可视化调平系统等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计。
高精度椭偏测量解决方案;超高精度、快速无损测量;支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制;丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力。
广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。

 

产品特点

  • 采用高性能进口复合光源,光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)

  • 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集

  • 支持系列配置灵活,可根据不同应用场景支持多功能模块化定制

  • 数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

 

技术参数

自动化程度

手动变角

应用定位

通用型

基本功能

Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

分析光谱

380-1000nm(可扩至210-1650nm)

单次测量时间

0.5-5s

重复性测量精度

0.01nm

光斑大小

大光斑2-3mm,微光斑200μm

入射角调节方式

手动变角

入射角范围

55-75°(5°步进),90°

找焦方式

手动找焦

Mapping行程

不支持

支持样件尺寸

最大至180mm

 

可选配件

1

温控台

2

Mapping扩展模块

3

真空泵

4

透射吸附组件

 


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