icon icon icon
banner图片
Image
SE-L
SE-L

沈阳科晶 光谱椭偏仪 SE-L

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:SE-L

产品规格
产品介绍
SE-L光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪,集众多科技专利技术,采用行业前沿创新技术,配置全自动测量模块。
资料下载
渠道商
产品详情

产品介绍

SE-L光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪,集众多科技专利技术,采用行业前沿创新技术,配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。SE-L光谱椭偏仪广泛应用于半导体薄膜结构:介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜,激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件、平板显示、光伏太阳能、功能性涂料、生物和化学工程、块状材料分析等领域。

 

产品特点

  • 高精度自动测量光学椭偏测量解决方案

  • 全自动变角、调焦等控制平台,一键快速测量

  • 软件交互式界面配合辅助向导式设计,易上手、操作便捷

  • 丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力

  • 采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

  • 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集

  • 全自动椭偏测量技术,基于行业领先电机控制技术,全自动调整测量角度,高精度控制样件台,实现样件快速自动对准找焦

  • 颐光专利技术确保在宽光谱范围内,提供优质稳定的各波段光谱

  • 数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

 

技术参数

自动化程度

自动变角

应用定位

自动型

基本功能

Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

分析光谱

380-1000nm(可扩至193-2500nm)

单次测量时间

0.5-5s

重复性测量精度

0.01nm

光斑大小

大光斑2-3mm,微光斑200um

入射角调节方式

自动变角

入射角范围

45-90°

找焦方式

自动找焦

Mapping行程

支持100x100mm(可选配)

支持样件尺寸

最大至200mm

 

可选配置

波段选择

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度选择

自动:45-90°

其他选择

Mapping选择:100×100mm(供参考,按需定制)

温控台:室温一600℃(供参考,按需定制)

 

可选配件

1

温控台

2

Mapping扩展模块

3

真空泵

4

透射吸附组件

 


相关产品
资料申请
在线留言