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SE-Mapping
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SE-Mapping

沈阳科晶 光谱椭偏仪 SE-Mapping

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:SE-Mapping

产品规格
产品介绍
SE-Mapping光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块,通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量
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产品介绍

SE-Mapping光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块,通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。SE-Mapping光谱椭偏仪广泛应用OLED,LED,光伏,集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。

 

产品特点

  • 全基片椭偏绘制化测量解决方案

  • 支持产品设计以及功能模块定制化,一键绘制测量

  • 配置Mapping模块,全基片自定义多点定位测量能力

  • 丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力

  • 采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

  • 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集

  • 具备全基片自定义多点自动定位测量能力,提供全面膜厚检测分析报告

  • 数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

 

技术参数

自动化程度

固定角+ mapping

应用定位

检測型

基本功能

Psi/Delta、N/C/S、R等光谱

分析光谱

380-1000nm(可扩至193-2500nm)

单次测量时间

0.5-5s

重复性测量精度

0.01nm

光斑大小

大光斑2-3mm,微光斑200um

入射角调节方式

固定角

入射角范围

65°

找焦方式

手动找焦

Mapping1程

300x300mm

支持样件尺寸

最大至300mm

 

可选配件

1

真空泵

2

透射吸附组件


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