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沈阳科晶
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SE-i
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沈阳科晶 光谱椭偏仪 SE-i

品牌名称：沈阳科晶

产品型号：SE-i

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产品介绍
光谱椭偏仪SE-Vi是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。
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产品介绍

光谱椭偏仪SE-Vi是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。光谱椭偏仪广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积，ALD沉积等光学薄膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。

 

产品特点

  • 针对手机玻璃盖板光学镀膜工艺定制开发专用光谱偏仪

  • 旋转补偿器测量技术和光学建模技术

  • 微光斑集成设计消除玻璃/膜片基底背反影响

  • 可视化样品台调平模块解决3D玻璃测量定位问题

  • 业内独创膜片镀膜处理算法直接测量PET膜片镀膜

 

技术参数

自动化程度

固定变角

应用定位

原位定制型

基本功能

Psi/Delta、N/C/S等光谱

分析光谱

380-1000nm，支持按需定制化

单次测量时间

0.5-5s

重复性测量精度

0.01nm

入射角范围

65°（支持定制）

 


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