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UNIPOL-1203

沈阳科晶 化学机械磨抛机 CUNIPOL-1203

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:CUNIPOL-1203

产品规格
产品介绍
UNIPOL-1203化学机械磨抛机,适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术,整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪
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产品详情

产品介绍

UNIPOL-1203化学机械磨抛机,适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术,整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。 

 

产品特点

  • 超平不锈钢抛光盘(平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm)。

  • 超精旋转轴(托盘端跳小于0.01mm)。

  • 设有两个加工工位,可分别进行控制。

  • 配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。

  • 配置自动滴料器,流量速率可视化调整,自动研磨和抛光。

  • 配置GPC-100A精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。

  • 研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。

 

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水:设备配有上水口及下水口,需自行连接自来水及排水

电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

气:无

工作台:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

通风装置:不需要

 

技术参数

主机部分

电源

220V

功率

450W

磨抛盘转速

10-240rpm

磨抛工位

2个

摆臂调节档位

1-15档

托盘端跳

0.008/250mm

不锈钢磨抛盘

φ300mm

载样盘

φ105mm

修盘环

φ127.5mm

GPC-100A精密磨抛控制仪

载样盘直径

Ø103mm

载样盘轴向行程

12mm

数显表精度

0.001mm

载样盘可调加载压力

0.1kg-2.1kg

压力确认仪有效量程

1g-5000g

样品装卡方式

真空吸附

承载样件尺寸

直径≤103mm、 厚度≤12mm

尺寸

外径146mm,高266mm

自动滴料器

SKZD-2滚筒滴料器

容积:1.5L

流量:0-35ml/min

尺寸:170×290×350mm;
       重量:3kg

SKZD-4自动滴料器

加液泵:4个

料液瓶:600ml/瓶
  计时范围:1-999min
  流量:0.1ml/min-10ml/min

尺寸:230×370×450mm;
       重量:10kg

产品规格

外形尺寸:550mm×700mm×420mm

重量:74Kg


标准配件

名称

数量

铸铁磨盘(Ф300mm花盘)

1个

不锈钢磨盘(Ф300mm平盘)

1个

载物盘(陶瓷)

1个

修盘环(陶瓷)

1个

抛光垫

(磨砂革、合成革、聚氨酯)

各1片

磁力片(带背胶)

2片

研抛底片

2片

刚玉研磨微粉

0.5kg

石蜡棒

4根

二氧化硅悬浮抛光液 2040 W0.05

1瓶

 

可选配件

名称

功能类别

YJXZ-12搅拌循环泵

(可选)

精密测厚仪

(可选)

陶瓷研磨盘

(可选)

玻璃研磨盘

(可选)

磁性树脂金刚石研磨片

(可选)


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