产品介绍
UNIPOL-1203化学机械磨抛机,适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术,整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
产品特点
超平不锈钢抛光盘(平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm)。
超精旋转轴(托盘端跳小于0.01mm)。
设有两个加工工位,可分别进行控制。
配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
配置自动滴料器,流量速率可视化调整,自动研磨和抛光。
配置GPC-100A精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。
研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水:设备配有上水口及下水口,需自行连接自来水及排水
电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
气:无
工作台:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上
通风装置:不需要
技术参数
主机部分 | |
电源 | 220V |
功率 | 450W |
磨抛盘转速 | 10-240rpm |
磨抛工位 | 2个 |
摆臂调节档位 | 1-15档 |
托盘端跳 | 0.008/250mm |
不锈钢磨抛盘 | φ300mm |
载样盘 | φ105mm |
修盘环 | φ127.5mm |
GPC-100A精密磨抛控制仪 | |
载样盘直径 | Ø103mm |
载样盘轴向行程 | 12mm |
数显表精度 | 0.001mm |
载样盘可调加载压力 | 0.1kg-2.1kg |
压力确认仪有效量程 | 1g-5000g |
样品装卡方式 | 真空吸附 |
承载样件尺寸 | 直径≤103mm、 厚度≤12mm |
尺寸 | 外径146mm,高266mm |
自动滴料器 | |
SKZD-2滚筒滴料器 | 容积:1.5L 流量:0-35ml/min 尺寸:170×290×350mm; |
SKZD-4自动滴料器 | 加液泵:4个 料液瓶:600ml/瓶 尺寸:230×370×450mm; |
产品规格 | 外形尺寸:550mm×700mm×420mm 重量:74Kg |
标准配件
名称 | 数量 |
铸铁磨盘(Ф300mm花盘) | 1个 |
不锈钢磨盘(Ф300mm平盘) | 1个 |
载物盘(陶瓷) | 1个 |
修盘环(陶瓷) | 1个 |
抛光垫 (磨砂革、合成革、聚氨酯) | 各1片 |
磁力片(带背胶) | 2片 |
研抛底片 | 2片 |
刚玉研磨微粉 | 0.5kg |
石蜡棒 | 4根 |
二氧化硅悬浮抛光液 2040 W0.05 | 1瓶 |
可选配件
名称 | 功能类别 |
YJXZ-12搅拌循环泵 | (可选) |
精密测厚仪 | (可选) |
陶瓷研磨盘 | (可选) |
玻璃研磨盘 | (可选) |
磁性树脂金刚石研磨片 | (可选) |