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沈阳科晶
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PCE-6
PCE-6

沈阳科晶 小型等离子清洗机 PCE-6

品牌名称：沈阳科晶

产品型号：PCE-6

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产品介绍
PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率为3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。
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产品介绍

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率为3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。PCE-6小型等离子清洗机体积小，占用的空间少，可有效节约实验室空间。PCE-6小型等离子清洗机配有一个双旋真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等气体，适用于对易氧化的物品的清洗。

 

产品特点

  • 通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。

  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。

  • 设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口。

  • 选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

 

技术参数

电源

AC220V  50/60Hz

输出功率

7.2W、10.2W、29.6W

真空泵功率

<500W

总功率

<600W

射频频率

3.0MHz，功率3档可手动调节

等离子腔体

高纯石英腔体Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Ø45mm的观察窗

真空泵

120L/min，直连式双旋真空泵

极限真空度

50mtorr

通入气体

可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定）

产品规格

尺寸：400mm×300mm×300mm

重量：10.2kg

可选配件

2"-6"石英舟（盛放基片）
  2-4通道质子或浮子混气系统

 


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