产品介绍
PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。
产品特点
采用6"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。
内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。
技术参数
电源 | AC220V |
射频功率 | 最大100W,可在0-100W间调节 |
真空泵功率 | <500W |
总功率 | <600W |
射频 | 13.56MHz |
等离子腔体 | 高纯石英腔体,外径Ø8.5",内径Ø8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法兰设有一个Ø60mm的观察窗口 |
极限真空度 | 50mtorr |
通入气体 | 可通入多种气体,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) |
产品规格 | 尺寸:620mm×450mm×600mm |
可选配件 | 300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验) |
2"-6"石英舟(盛放基片) | |
2-4通道浮子混气系统 | |
2-4通道质子混气系统 | |
直连式双旋真空泵(240L/min) | |
KF25波纹管 | |
KF25手动挡板阀 |