icon icon icon
banner图片
Image
PCE-8
PCE-8-2
PCE-8

沈阳科晶 等离子清洗机 PCE-8

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:PCE-8

产品规格
产品介绍
PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节
资料下载
渠道商
产品详情

产品介绍

PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。

 

产品特点

采用6"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。

内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。

 

技术参数

电源

AC220V

射频功率

最大100W,可在0-100W间调节

真空泵功率

<500W

总功率

<600W

射频

13.56MHz

等离子腔体

高纯石英腔体,外径Ø8.5",内径Ø8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法兰设有一个Ø60mm的观察窗口

极限真空度

50mtorr

通入气体

可通入多种气体,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

产品规格

尺寸:620mm×450mm×600mm

可选配件

300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验)

2"-6"石英舟(盛放基片)

2-4通道浮子混气系统

2-4通道质子混气系统

直连式双旋真空泵(240L/min)

KF25波纹管

KF25手动挡板阀

 


相关产品
资料申请
在线留言