产品介绍
GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下活化和清理材料(如单晶片、光学元件、塑料等)表面杂质,且清理速度迅速。本机是为获得高质量的外延薄膜或光学涂层进行预先表面处理的合适的工具选择。GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪具有一个样品台,将样品固定在样品台上后可进行X、Y、Z三个方向上一定范围内的连续移动清洗,且清洗过程中离子束不会发生抖动,清理后的样品表面质量均匀。
产品特点
高速清理物件表面,操作简单、安全。
无需真空和腔室环境。
小巧实用、成本低。
重量轻、结构紧凑。
已通过CE认证。
技术参数
主机部分 | |
X Y轴 | 控制方式:面板控制 |
Z轴 | 控制方式:手动控制 |
清洗间距 | 1-100mm |
外形尺寸 | 550mm(宽)×650mm(深)×920 mm(高) |
等离子控制器部分 | |
输入电源 | AC220V ,PE.50HZ |
输入稳压范围 | 190-250V |
主机重量 | 17 kg |
工作环境温度 | <42℃ |
相对湿度 | ≤40℃RH |
电压调节范围 | 240-300V |
输入气源压力 | ≥4 bar |
最大功率 | 1000VA |
频率 | 20-23kHz |
等离子工作压力 | 0.5-0.7 bar (可调节) |
压力保护控制 | 最低点: 0.4bar;最高点: 0.8bar |
喷头处理宽度 | 圆嘴:10-12mm;扁嘴:15-18mm |
产品规格 | 主机外形尺寸380 (W) ×210 (H) ×500 (D) mm |