产品介绍
PCE-3等离子清洗机的等离子腔体为Ø75mm×165mm的耐热玻璃腔体,输出功率6.8W、10.5W、18W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备,在射频电源的作用下,去除速率可达10nm/min。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-3等离子清洗机配有一个真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。
产品特点
使用可调射频电源, 可以设置低、中、高功率。
桌上型设备,结构紧凑、操作安全、环境友好、低成本。
技术参数
输入电压 | 110V/220V、50Hz/60Hz (请提前选定),小于100W |
射频输出频率 | 13.56MHz |
等离子直流电源 | 低功率设定—680V,10mA,6.8W;中功率设定—700V,15mA,10.5W;高功率设定—720V,25mA,18W |
等离子腔室 | Ø75mm×165mm,耐热玻璃,前盖可拆卸 |
通入气体 | 可通入多种气体,如N2、Ar、空气、混合气体等,主要根据处理材料性质所定 |
真空泵和阀的要求 | >160L/min,极限压力200mtorr(0.27mbar),可选择数字真空表,针阀控制气体流量,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气 |
产品规格 | 尺寸:200mm×250mm×210mm; 重量:8kg(不含泵) |
可选瞥见 | 本司研发的电阻真空计 |