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PCE-22
PCE-22

沈阳科晶 紫外臭氧清洗机 PCE-22

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:PCE-22

产品规格
产品介绍
PCE-22紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。
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产品详情

产品介绍

PCE-22紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

 

产品特点

  • 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;

  • 温度范围:5-40℃;

  • 最大相对湿度80%,最高30.5℃,40℃线性降至50%相对湿度;

  • 主电源波动不超过额定电压的10%;

  • 污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb。

  • 去除分子级别的污染物

  • 紫外光固化粘合剂

  • 紫外光催化

  • 氧化PDMS

  • 表面消毒

  • 刻蚀

  • 清洗MEMS 器件

  • 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

 

技术参数

功率

最大350W

AC   208~240V,单相 50/60Hz

腔体&样品台

不锈钢壳体

抽屉式样品台,以便放样取样

样品台面积310 mm x 320 mm

臭氧通风装置安装在腔体上

样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调)

样品台可以加热,最高温度可达150℃

可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃

设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

排气口

直径为80mm的排气口安装在仪器后端

请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外

仪器中不包含橡胶管

紫外灯

可发出双波长的水银灯

功率:55W

发出光的波长:254 nm 和 185 nm

使用寿命:2500 小时(可更换)

照射区域:200 x 200 mm

可以清洁直径最大为12英寸x 35毫米的晶体晶片。

产品规格

尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

重量:28k

 


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