产品介绍
PCE-22紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
产品特点
仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;
温度范围:5-40℃;
最大相对湿度80%,最高30.5℃,40℃线性降至50%相对湿度;
主电源波动不超过额定电压的10%;
污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb。
去除分子级别的污染物
紫外光固化粘合剂
紫外光催化
氧化PDMS
表面消毒
刻蚀
清洗MEMS 器件
清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片
技术参数
功率 | 最大350W AC 208~240V,单相 50/60Hz |
腔体&样品台 | 不锈钢壳体 抽屉式样品台,以便放样取样 样品台面积310 mm x 320 mm 臭氧通风装置安装在腔体上 样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调) 样品台可以加热,最高温度可达150℃ 可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃ 设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时 |
排气口 | 直径为80mm的排气口安装在仪器后端 请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外 仪器中不包含橡胶管 |
紫外灯 | 可发出双波长的水银灯 功率:55W 发出光的波长:254 nm 和 185 nm 使用寿命:2500 小时(可更换) 照射区域:200 x 200 mm 可以清洁直径最大为12英寸x 35毫米的晶体晶片。 |
产品规格 | 尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 重量:28k |