沈阳科晶 等离子刻蚀清洗机 PCE-500W

总功率

1.5KW

电源

AC220V   50/60Hz

射频电源

射频功率可在 0-500W 之间调节
  频率：13.56MHz
  注：可与本公司工作人员联系选购 1KW 高功率等离子刻蚀清洗机

等离子腔体

8.5"   O.D x 8.2" I.D x 14.4" L  高纯石英腔体
  铝制折叠式法兰来进行真空密封
  法兰上有一个直径为 60mm 的观察窗口
  此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏

控制面板

通过   6"  彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等
  仪器内部安装有一 0 - 100ml/minute 质量流量计，可精确地控制进气流量

真空泵(选配)

仪器必须使用抽气速率大于 4L/S 的真空泵（标配不含真空泵）
  极限真空度为 50mTorr

通入气体

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如 N2, Ar, Air，H2、   O2 和混合气体等等 (根据材料性质所定)
  不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

可选

可选购 2" - 6"  石英舟来盛放基片
  可选购 2-4 通道质子或浮子混气系统

产品尺寸

600mm   L×600mm W×810mm H

质量认证

CE   认证