沈阳科晶 蒸发镀膜仪 GSL-1800X-ZF4

产品介绍

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有机物。本机设有4个蒸镀加热舟，每个加热舟都可独立进行蒸镀，加热舟上方有一个可旋转挡板，当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住，以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极，在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化，进而损坏电极。该机采用金属腔室，具有极高的真空度，真空度可达到5.0×10-7torr，样品台可对样品进行加热，加热温度为室温-500℃，是进行高真空蒸发镀膜的首选设备。

产品特点

• 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

• 采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。

• 真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，提高效率）、1个CF150闸板阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、6个CF35法兰（1个安装电离规，1个安装2芯电极，1个安装膜厚仪）3个备用。

• 在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。

• 样品台安装在腔体的顶部。

• 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，膜厚测量分辨率（铝）为0.1Å。

• 可使用循环水冷机。

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

工作台：落地式，占地面积2m2以上。

通风装置：需要

技术参数