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VTC-100PAH

沈阳科晶 真空旋转涂膜机 VTC-100PAH

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:VTC-100PAH

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产品介绍
VTC-100PAH 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。
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产品介绍

VTC-100PAH 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH 真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机,采用了先进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设备腔体采用聚丙烯材质,具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空,工作时利用真空吸盘及气路管线与外部真空泵相连,能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上,此方式操作简便、样件取放自如,吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机,噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单,电机启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH 真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

 

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水:不需要

电:220V AC

气:不需要

工作台:尺寸1400mm×700mm×700mm,承重250kg以上

通风装置:不需要

 

技术参数

设备供电

DC24V   标配适配器:IN AC100-240V 50/60Hz  OUT DC24V 15A

功率

300W

操作界面

7 寸触摸屏

速度范围

设定:1500-20000rpm(递增量为:100rpm 为单位)

运行程序

包含   16 个运行阶段

每设增加速率设置范围

100   rpm/s—6000 rpm /s,

减速停车速率范围

100   rpm/s—3000 rpm /s

时间范围

1-99s(设定速度范围:1500 至 10000rpm);

1-60s(设定速度范围:大于 10000 至 20000rpm)

吸盘规格

2 英寸, 4 英寸

真空接口

快插接头,采用φ8 PU 管连接。

产品规格

尺寸:250mm×340mm×320mm;

重量:12kg

 

标准配件

名称

数量

真空吸盘(含O型圈)

(2英寸和4英寸)

2个

滴胶注射器(20ml)

1个

无油真空泵

1个

适配器24V/15A

1个

 

可选配件

名称

功能类别

其它尺寸的真空吸盘

(可选)

国产移液枪

(可选)

进口移液枪

(可选)

 


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