产品介绍
VTC-100PAH 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH 真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机,采用了先进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设备腔体采用聚丙烯材质,具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空,工作时利用真空吸盘及气路管线与外部真空泵相连,能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上,此方式操作简便、样件取放自如,吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机,噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单,电机启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH 真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水:不需要
电:220V AC
气:不需要
工作台:尺寸1400mm×700mm×700mm,承重250kg以上
通风装置:不需要
技术参数
设备供电 | DC24V 标配适配器:IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A |
功率 | 300W |
操作界面 | 7 寸触摸屏 |
速度范围 | 设定:1500-20000rpm(递增量为:100rpm 为单位) |
运行程序 | 包含 16 个运行阶段 |
每设增加速率设置范围 | 100 rpm/s—6000 rpm /s, |
减速停车速率范围 | 100 rpm/s—3000 rpm /s |
时间范围 | 1-99s(设定速度范围:1500 至 10000rpm); 1-60s(设定速度范围:大于 10000 至 20000rpm) |
吸盘规格 | 2 英寸, 4 英寸 |
真空接口 | 快插接头,采用φ8 PU 管连接。 |
产品规格 | 尺寸:250mm×340mm×320mm; 重量:12kg |
标准配件
名称 | 数量 |
真空吸盘(含O型圈) (2英寸和4英寸) | 2个 |
滴胶注射器(20ml) | 1个 |
无油真空泵 | 1个 |
适配器24V/15A | 1个 |
可选配件
名称 | 功能类别 |
其它尺寸的真空吸盘 | (可选) |
国产移液枪 | (可选) |
进口移液枪 | (可选) |