沈阳科晶 真空旋转涂膜机 VTC-100

产品介绍

VTC-100 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺。本机具有操作简单、清理方便、体积小巧等优点，主要应用于各大专院校，科研院所的实验室中进行薄膜生成过程。本机具有操作简单、清理方便、体积小巧等优点，主要应用于各大专院校，科研院所的实验室中进行薄膜生成过程。设备采用真空吸附样件方式，使样件取放自如，减少以往繁琐操做程序。标配φ25mm，φ50mm，φ100mm 聚丙烯真空吸盘各一个，适用于不同尺寸硅片及其他材料等涂膜。本机内部供电系统采用了电机部分与控制部分分别使用独立电源的方式，调速系统则采用了抗干扰性高的单片机进行控制，使得转数在高达 1000-8000RPM 范围内都非常稳定。涂膜机本机启动快速、转数稳定，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。此外，在安装结构上，采取了减震措施，使设备运转时更加稳定、噪音降低。

产品特点

• 采用二段程序控制速度，在第一段低速阶段进行注胶，在第二段高速阶段进行匀胶。

• 真空吸附方式固定样件，操作简便，取放样品方便。

• 采用铸铝结构，运行稳定、噪音低。

• 采用了电机与控制电源分别有单独的电源供电

• 调速采用抗干扰性高的单片机进行控制，转速在1000-8000 RPM范围内非常稳定。

• LED数字显示,拥有旋涂倒计时显示功能。

• 采用无油双杠真空泵，体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。

安装要求

温湿度：10-85%RH (at 25℃ 无凝露） 温度： 0-45℃。

设备周围无强烈震源和腐蚀气体。

水不需要

电：单相：AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地

气：真空负压（真空泵） 抽气流量不小于 70L/M

工作台：建议 800X600X700mm 承重 100KG 以上(固体水泥台最佳）

通风装置：无特殊要求

技术参数

注：为避免客户使用时出现误操作/误触碰造成设备损坏，国内标准设备后部“电压转换开关”只支持 AC220V 50Hz 供电，如需 AC220V/AC110V 50HZ/60Hz 转换的设备时，请与本公司销售人员沟通说明，设备实际供电以产品后部粘贴标牌为准。