沈阳科晶 真空旋转涂膜机 VTC-100PAX

产品介绍

VTC-100PAX 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAX 真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了先进的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。该设备可储存 6 组程序，每组程序包含 9 个运行阶段。每段运行参数可独立设置，可使设备缓慢提升速度至极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空，工作时利用真空吸盘及电机转子轴中心的气路管线与外部真空泵相连，能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上，此方式操作简便、样件取放自如，吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机，噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单，电机启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAX 真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

安装要求

温湿度：10-85%RH (at 25℃ 无凝露） 温度： 0-45℃。

设备周围无强烈震源和腐蚀气体。 

水：设备配有排污下水口

电：单相：AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地

气：真空负压（真空泵）：0.06-0.09Mpa

工作台：建议 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台最佳）

通风装置：无特殊要求

技术参数

注：1.设备供电为国内标准 AC220V 50Hz 供电，实际供电以产品后部标牌参数为准，此设备支持 AC110V 50/60Hz 产品定制。
2.本设备控制程序及显示均为英文。