沈阳科晶 红外加热喷雾旋转涂覆机 VTC-200-4P

产品介绍

VTC-200-4P 喷雾旋转涂覆机适用于半导体工艺、制版工艺及表面涂覆工艺。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点，可满足不同客户工艺需求。本机旋转部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源的方式，设备旋转轴采用启动速度更快、运转更加稳定的伺服电机，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。伺服电机调速控制系统则采用了抗干扰性高的 PLC 编程器进行控制，可确保旋转主轴在 100-2000RPM 运转时非常精准与平稳。涂膜机在工作时设有两个运行阶段，在启动前根据工艺需要设置。对于样件的固定，采用真空吸盘吸附，不仅样件取放自如，而且操作简便。此外，在安装结构上，采取了减震措施，降低运转时的噪音，此旋转涂覆机腔室的上盖具有加热烘烤功能，可以对样品进行加热烘烤，有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆过程的进行。VTC-200-4P 喷雾旋转涂覆机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

产品特点

• 采用橡胶吸盘和磁力钢片模板固定样件，不仅样件取放自如，而且操作简便；橡胶吸盘和磁力钢片模板大小可根据需要进行定制。

• 该机上盖具有红外加热功能，可以使温度保持在一个稳定值。

• 本机上盖具有4组喷嘴，可使胶体以雾状喷在样片表面，使薄膜更均匀。

• 电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源的方式，电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制，数值显示更直观可靠，转数在100-2000RPM内可调。

• 涂膜机在工作时设有两个运行阶段，在启动前根据工艺需要，可分别进行“时间 1”、“转速 1”、“时间2”、“转速 2”的参数设置。设置完成后启动运行，涂膜机先以“转速 1”设置的运转参数在“时间 1”运转时间设置参数内运行（低速），此运行阶段可使涂膜物质逐渐分散开。当“时间 1”运行时间结束时，涂膜机自动进入“时间 2”时间段并以“转速 2”设置运转参数运转（高速），从而达到使涂膜物质更加均匀。

• 喷雾旋转涂覆机启动快速、转数稳定，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。

• 在安装结构上，采取了减震措施，降低运转时的噪音。

• 腔体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能；机身采用铸铝结构，结实耐用且质轻。

安装要求

温湿度：10-85%RH (at 25℃ 无凝露） 温度： 0-45℃。

设备周围无强烈震源和腐蚀气体。 

水：排污下水

电：单相：AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地

气：①真空负压（真空泵） 抽气流量不小于 70L/M ②压缩气体（空压机）

工作台：建议 1500X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台最佳）

通风装置：无特殊要求

技术参数

注：1.设备供电为国内标准 AC220V 50Hz 供电，实际供电以产品后部标牌参数为准。
2.本设备注料喷雾、涂膜旋转、加热参数均为独立设置控制。

标准配件

可选配件