沈阳科晶 小型程序控温蒸发镀膜仪 GSL-1700X-SPC-2

产品介绍

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可对程序进行设定，并精确控制温度在200ºC-1500ºC（或者1200ºC-~1700ºC）的范围内进行变化，可蒸镀直径长达2"的薄膜样品，在对样品进行蒸发镀膜的过程中，样品台可进行旋转旋转，以获得更均匀的薄膜。GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪应用范围广，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜，因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪体积小巧，可有效节约实验室空间；操作简单，对不同材料的适应性强，因此被广泛应用于各大高校和科研院所的实验室当中。

产品特点

• 已通过CE认证。

• 采用石英腔体，易于清洁和样品的放入。

• 样品台可旋转，能够使所制薄膜达到更好的均匀性。

• 采用钨丝作为发热源，最高温度可达到1700℃，并配有专用的氧化铝舟装载样品（仅1600ºC以下使用，若蒸发温度大于1600ºC，样品应直接放在钨丝篮中）。　　 

• 热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。

• 可将设备转换到手动调节状态，内部不安装热电偶，直接采用手动调节输出电流大小，发热源温度可达2000ºC，可达到对样品镀碳等实验要求。

• 可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜。

• 进气口配有针阀，用于调节进气流量。

技术参数

可选配件

机械泵（带油污过滤器）（真空度<10-2torr，可以蒸发贵金属，如Au、Ag）

分子泵（可获得高真空，真空度<10-5torr，蒸发易氧化材料，如Al、Mg、Li等）

低真空系统

高真空系统

等离子清洗机（镀膜前对基片进行清洗，可获得更好的薄膜强度）