沈阳科晶膜厚监测仪 EQ-TM106-宜器服务网

产品详情

产品介绍

EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM（脉冲宽度调制）模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制，从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间，原理简单，操作方便，尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。

产品特点

本机可与计算机连接。
显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。
通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。
具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

技术参数

EQ-TM106-1监测组件

电源	DC 5V（±10%），最大电流400mA
频率分辨率	±0.03Hz
膜厚分辨率	0.0136Å（铝）
膜厚准确度	±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度
测量速度	100ms-1s/次，可设置
测量范围	500000Å（铝）
标准传感器晶体	6MHz
计算机接口	RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）
模拟输出	8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）
工作环境	温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
外形尺寸	90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示仪

输入电源	AC 220V±10%
输出电源	DC 5V 3A
显示器	12×2数码管与LED
通讯端口	RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位，奇偶校验：无）
外形尺寸	182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探头

适用晶片频率	6MHz
适用晶片尺寸	Ø14mm
安装法兰	CF35
冷却水管	Ø3mm，长度300mm、500mm、1000mm
冷却水压	<0.3MPa
气动挡板路管	Ø3mm
压缩空气压力	<0.8mpa，>0.5MPa
烘烤温度	通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃
电气接口	BCN插座

标准配件

EQ-TM106-1监测组件	1个
EQ-TM106-2显示仪	1台
EQ-TM106-3探头	1个

沈阳科晶 膜厚监测仪 EQ-TM106

沈阳科晶膜厚监测仪 EQ-TM106