沈阳科晶 钙钛矿镀膜机 GSL-1800X-ZF6

产品介绍

GSL-1800X-ZF6钙钛矿镀膜机是一种利用电阻加热使膜材汽化蒸发后凝结在基片上成膜的加热镀膜方法，该方法结构简单、实用，使用可靠，适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。

适用范围：钙钛矿材料、二维材料、光伏太阳能电池的器件制备等

产品特点

• 钙钛矿镀膜机主要由金属源蒸发沉积室，真空排气系统，真空测量系统，有机蒸发源，无机蒸发源，样品台系统，电控系统，配气系统等部分组成

• 方便操作，制成的薄膜纯度高、质量好，膜厚可以准确的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以获得清晰的图形，薄膜的生长比较单纯。

• 恢复工作真空快，大气至5×10-4Pa≤15分钟。

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），  自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀

工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

通风装置：需要

技术参数