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F54-XY系列

美国Filmetrics 自动薄膜厚度测量仪 F54-XY系列

品牌名称：美国Filmetrics

产品型号：F54-XY/F54-XY-UV/F54-XY-NIR/F54-XY-EXR/F54-XY-UVX

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产品规格
产品介绍
图案化晶圆的自动膜厚测量
F54-XY拥有先进的反射光谱仪系统，可轻松实现对最大300mm晶圆样品的膜厚测量。
F54-XY-200型膜厚仪可测量最大尺寸200mm的样品，电动XY载台可实现预选点位的自动测量，测量速度最高可达每秒2个视场点。
F54-XYT-300型膜厚仪具备高性能旋转样品台，可实现对300mm晶圆样品的测量。
系统内置极坐标、矩形阵列、直线等多种点位图形，用户也可自定义创建测量点阵，且无最多测量点数的限制。
模式识别功能可满足阵列式或非阵列式晶圆的测量需求。
F54-XY系列不同机型的主要区别在于待测薄膜的厚度和光源波段。一般情况下，待测膜厚越小，则需使用更短波长的光源进行测量（如 F54-XY-200-UV），反之长波光源则可以满足更厚、
粗糙或透明度更低的薄膜厚度测量需求。
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F54-XY系列 自动薄膜厚度测量仪 

图案化晶圆的自动膜厚测量

F54-XY拥有先进的反射光谱仪系统，可轻松实现对最大300mm晶圆样品的膜厚测量。

F54-XY-200型膜厚仪可测量最大尺寸200mm的样品，电动XY载台可实现预选点位的自动测量，测量速度最高可达每秒2个视场点。

F54-XYT-300型膜厚仪具备高性能旋转样品台，可实现对300mm晶圆样品的测量。

系统内置极坐标、矩形阵列、直线等多种点位图形，用户也可自定义创建测量点阵，且无最多测量点数的限制。

模式识别功能可满足阵列式或非阵列式晶圆的测量需求。

F54-XY系列不同机型的主要区别在于待测薄膜的厚度和光源波段。一般情况下，待测膜厚越小，则需使用更短波长的光源进行测量（如 F54-XY-200-UV），反之长波光源则可以满足更厚、

粗糙或透明度更低的薄膜厚度测量需求。

包含的内容：

  • 集成光谱仪/光源装置

  • FILMapper 测量软件

  • SiO2厚度标准

  • 集成式硅反射标准

  • 真空泵


F54-XY 选配

  • 模式识别软件

  • 自动转塔

  • 高通滤波器转轮

  • 可追溯的 NIST 厚度标准


型号参数

型号

厚度范围*

波长范围

F54-XY

20nm-50µm

380-1050nm

F54-XY-UV

4nm-35µm

190-1100nm

F54-XY-NIR

100nm-120µm

950-1700nm

F54-XY-EXR

20nm-120µm

380-1700nm

F54-XY-UVX

4nm-120µm

190-1700nm

*取决于薄膜种类

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常见的选购配件：

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