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F60-c 系列

美国Filmetrics 自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统 F60-c 系列

品牌名称：美国Filmetrics

产品型号：F60-c/F60-c-UV/F60-c-NIR/F60-c-EXR/F60-c-UVX/F60-c-XT/F60-c-s1310

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产品介绍
适合生产环境的自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统
Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘，但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。新款F60-c融合了Filmetrics 多点膜厚测量技术与KLA Instruments™ 产线自动化传片模组。
不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长（例如F60-c-UV），而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。
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F60-c 系列 自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统 

适合生产环境的自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统

Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘，但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。新款F60-c融合了Filmetrics 多点膜厚测量技术与KLA Instruments™ 产线自动化传片模组。

不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长（例如F60-c-UV），而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。

包含的内容：

集成光谱仪/光源装置

6" 和 200mm 晶圆反射率标准

TS-SiO2-8-8000 厚度标准

真空泵

备用 LAMP-THF60 灯

型号参数

型号

厚度范围*

波长范围

F60-c

20nm-70µm

380-1050nm

F60-c-UV

5nm-40µm

190-1100nm

F60-c-NIR

100nm-250µm

950-1700nm

F60-c-EXR

20nm-250µm

380-1700nm

F60-c-UVX

5nm-250µm

190-1700nm

F60-c-XT

0.2µm-450µm

1440-1690nm

F60-c-s1310

7µm-2mm

1280-1340nm

*取决于薄膜种类 

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常见的选购配件：

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