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F30 系列
F30 系列
F30 系列

美国Filmetrics 在线检测仪 F30 系列

品牌名称:美国Filmetrics

产品型号:F30/F30-EXR/F30-NIR/F30-UV/F30-UVX/F30-XT

产品规格
产品介绍
监控薄膜沉积,最强有力的工具
F30 光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。
样品层
分子束外延和金属有机化学气相沉积: 可以测量平滑和半透明的,或轻度吸收的薄膜。 这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。
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产品详情

F30 系列 在线检测仪 

监控薄膜沉积,最强有力的工具

F30 光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。

样品层

分子束外延和金属有机化学气相沉积: 可以测量平滑和半透明的,或轻度吸收的薄膜。 这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。

各项优点:

  • 极大地提高生产力

  • 低成本 —几个月就能收回成本

  • A精确 — 测量精度高于 ±1%

  • 快速 — 几秒钟完成测量

  • 非侵入式 — 完全在沉积室以外进行测试

  • 易于使用 — 直观的 Windows™ 软件

  • 几分钟就能准备好的系统


型号参数

型号

厚度范围*

波长范围

F30

15nm-70µm

380-1050nm

F30-EXR

15nm - 250µm

380-1700nm

F30-NIR

100nm - 250µm

950-1700nm

F30-UV

3nm-40µm

190-1100nm

F30-UVX

3nm - 250µm

190-1700nm

F30-XT

0.2µm - 450µm

1440-1690nm


常见的选购配件:


F30 系列-1.png


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