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R50/R54 系列
R50/R54 系列
R50/R54 系列
R50/R54 系列

美国Filmetrics 方块电阻测试仪 R50/R54 系列

品牌名称：美国Filmetrics

产品型号：R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC/R54-200-4PP/R54-200-EC/R54-300-4PP/R54-300-EC

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产品介绍
Filmetrics R系列结合了KLA公司45年来在方块电阻测量领域以及Filmetrics团队20年来在桌面式仪器和用户界面方面的技术。
对于较薄的金属和离子注入层，建议采用接触式四探针(4PP)测量方法，对于较厚的金属层和柔性或软性的导电表面，建议采用非接触式涡流(EC)测量方法。我们的技术能够满足各种测量需求，包括但不限于以下:
金属薄膜及背面工艺层厚度测量
衬底电阻率
方块电阻
薄膜厚度或电阻率
薄层和体材料的导电率
经过优化的Filmetrics R50能够支持各种样品的测量需求，可以使用矩形、线性、极坐标和自定义配置等采样点排列方式进行测绘。
KLA Instruments™ R54系列在安装不透光外壳的情况下，能够提供R50所具有的测量性能，并新增了X-Y-θ全自动载台，用于半导体和化合物半导体的200mm或300mm晶圆检测。
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R50/R54 系列 方块电阻测试仪 

Filmetrics R系列结合了KLA公司45年来在方块电阻测量领域以及Filmetrics团队20年来在桌面式仪器和用户界面方面的技术。

对于较薄的金属和离子注入层，建议采用接触式四探针(4PP)测量方法，对于较厚的金属层和柔性或软性的导电表面，建议采用非接触式涡流(EC)测量方法。我们的技术能够满足各种测量需求，包括但不限于以下:

  • 金属薄膜及背面工艺层厚度测量

  • 衬底电阻率

  • 方块电阻

  • 薄膜厚度或电阻率

  • 薄层和体材料的导电率

经过优化的Filmetrics R50能够支持各种样品的测量需求，可以使用矩形、线性、极坐标和自定义配置等采样点排列方式进行测绘。

KLA Instruments™ R54系列在安装不透光外壳的情况下，能够提供R50所具有的测量性能，并新增了X-Y-θ全自动载台，用于半导体和化合物半导体的200mm或300mm晶圆检测。

方块电阻和其他测量应用:

  • 半导体晶圆衬底

  • 玻璃衬底

  • 塑料柔性衬底

  • PCB图案特征

  • 太阳能电池

  • 平板显示层和图案特征

  • 金属箔

  • 导电橡胶和弹性体


型号参数

型号

传感器类型

量测范围

最大测绘直径

XY载台运动范围

最大样品容许高度

R50-4PP

接触式四探针

1mΩ/sq - 200MΩ/sq

100mm

100mm x 100mm

100mm

R50-EC

非接触涡流

1mΩ/sq - 50Ω/sq

100mm

100mm x 100mm

100mm

R50-200-4PP

接触式四探针

1mΩ/sq - 200MΩ/sq

200mm 圆形

200mm x 200mm

100mm

R50-200-EC

非接触涡流

1mΩ/sq - 50Ω/sq

200mm 圆形

200mm x 200mm

100mm

R54-200-4PP

接触式四探针

1mΩ/sq - 200MΩ/sq

200mm x 200mm

100mm x 100mm

15mm

R54-200-EC

非接触涡流

1mΩ/sq - 50Ω/sq

200mm x 200mm

100mm x 100mm

15mm

R54-300-4PP

接触式四探针

1mΩ/sq - 200MΩ/sq

300mm 圆形*

200mm x 200mm

15mm

R54-300-EC

非接触涡流

1mΩ/sq - 50Ω/sq

300mm 圆形*

200mm x 200mm

15mm


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